Лендєл В, Степахно І, Яровой Л. ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ. Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak. [інтернет]. 04, Липень 2022 [цит. за 07, Квітень 2025];(63(1):39-45. доступний у: https://visnykpb.kpi.ua/article/view/260636