[1]
Топтун, А., Саєнко, С., Ощепков, Н., Мироненко, Д. і Бондаренко, М. 2025. ВПЛИВ НІТРАТНИХ ЕЛЕКТРОЛІТІВ У РІДИННІЙ КОМІРЦІ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ НА ТОЧНІСТЬ ВИМІРЮВАННЯ МІКРОРЕЛЬЄФУ МІКРОЕЛЕКТРОННИХ КОМПОНЕНТІВ. Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування. 70(2) (Груд 2025), 12–20. DOI:https://doi.org/10.20535/1970.70(2).2025.347953.