Лендєл В, Степахно І, Яровой Л. ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ. Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak. [інтернет]. 04, Липень 2022 [цит. за 25, Квітень 2024];(63(1):39-45. доступний у: http://visnykpb.kpi.ua/article/view/260636