[1]
В. . Лендєл, І. . Степахно, і Л. Яровой, «ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ», Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak., вип. 63(1), с. 39–45, Лип 2022.