Лендєл , В. ., Степахно, І. . і Яровой, Л. (2022) «ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ», Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування, (63(1), с. 39–45. doi: 10.20535/1970.63(1).2022.260636.