ЛЕНДЄЛ , В. .; СТЕПАХНО, І. .; ЯРОВОЙ, Л. ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ. Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування, [S. l.], n. 63(1), p. 39–45, 2022. DOI: 10.20535/1970.63(1).2022.260636. Disponível em: http://visnykpb.kpi.ua/article/view/260636. Acesso em: 29 бер. 2024.