Лендєл , В. ., Степахно, І. ., & Яровой, Л. (2022). ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ. Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування, (63(1), 39–45. https://doi.org/10.20535/1970.63(1).2022.260636