Лендєл , В. .; Степахно, І. .; Яровой, Л. ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ. Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak. 2022, 39-45.