Лендєл , В. , Степахно, І. і Яровой, Л. 2022. ЗАСТОСУВАННЯ ТРИХВИЛЬОВОЇ ГЕТЕРОДИННОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ТОВЩИНИ НАНОРОЗМІРНИХ ШАРІВ У ПРОЦЕСІ ЇХ НАПИЛЕННЯ. Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування. 63(1) (Лип 2022), 39–45. DOI:https://doi.org/10.20535/1970.63(1).2022.260636.