TY - JOUR AU - Жайворонок, Ігор AU - Коваленко , Юрій PY - 2022/12/24 Y2 - 2024/03/29 TI - ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ ВИЗНАЧЕННЯ РОБОЧИХ ПАРАМЕТРІВ СТРІЧКОВОГО ЕЛЕКТРОННОГО ПОТОКУ ПРИ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОМУ МІКРООБРОБЛЕННІ ДІЕЛЕКТРИКІВ JF - Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування JA - Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak. VL - IS - 64(2) SE - АНАЛІТИЧНЕ ТА ЕКОЛОГІЧНЕ ПРИЛАДОБУДУВАННЯ DO - 10.20535/1970.64(2).2022.269983 UR - http://visnykpb.kpi.ua/article/view/269983 SP - 33-41 AB - <p>В статті показана можливість підвищення точності визначення робочих параметрів стрічкового електронного потоку при електронно-променевому мікрообробленні діелектричних матеріалів у вакуумі (на прикладі полікристалічного кремнію марки Кр0 та оптичного скла марки К8) в результаті аналізу та вибору найбільш прийнятних енергетичних режимів роботи дротяної електронно-променевої гармати Пірса.</p><p>Метою роботи є дослідження впливу вольт-амперних характеристик дротяної електронно-променевої гармати Пірса на якість та повторюваність процесу оброблення діелектричних матеріалів електронним потоком стрічкової форми, що дозволяє обрати найбільш раціональні режими визначення робочих параметрів електронного потоку з більш високою точністю. У роботі запропоновано технологічний експеримент з електронно-променевого мікрооброблення діелектричних поверхонь, а також визначені та досліджені робочі параметри процесу такого оброблення залежно від можливих енергетичних характеристик основного робочого вузла електронно-променевого обладнання, а саме – електронно-променевої гармати Пірса. Отримані внаслідок експериментального дослідження робочі параметри стрічкового електронного потоку дозволили забезпечити найбільш якісне оброблення поверхонь діелектричних матеріалів за рахунок покращення таких показників точності визначення цих параметрів, як прецизійність (так, стандартне відхилення повторюваності S<sub>r</sub> зменшилося з 8,33&nbsp;% до 4,95&nbsp;%, а стандартне відхилення відтворюваності S<sub>R</sub> зменшилося з 13,28&nbsp;% до 6,18&nbsp;%), що підтверджує репрезентативність робочих параметрів, так і правильність (зміщення методики визначення робочих параметрів в електронному потоці є статистично незначущим за умов довірчого інтервалу на осі d=0 при рівні значущості a=0,05). Аналіз отриманих результатів щодо електронно-променевого мікрооброблення поверхонь діелектричних матеріалів за обраними робочими параметрами доводить покращення якості та підвищення відтворюваності результатів оброблення цих поверхонь за чистотою, а також зменшення залишкового нанорельєфу на 18-25&nbsp;%. Проведене порівняння результатів експериментального електронно-променевого мікрооброблення діелектриків з результатами їх лазерного поверхневого оброблення дозволило встановити зменшення залишкових мікронерівностей поверхні, як при електронно-променевому мікрообробленні (для оптичного скла марки К8 у 17-27 разів; для кремнію Кр0 – у 14-22 рази), так і при поверхневому лазерному обробленні (для обох видів матеріалу – у 12-14 разів). При цьому, поверхневе лазерне оброблення не дозволяє усунути хвилястість поверхні, яка пов‘язана зі специфікою взаємодії лазерного променю з поверхнею оптичного матеріалу, тоді як при обробленні електронним потоком стрічкової форми виникнення такої хвилястості не спостерігається. Висновки та проаналізовані дані, отримані в статті за результатами експериментальних досліджень, можуть бути використані для оптимізації технологічних режимів електронно-променевого мікрооброблення при отриманні виробів мікрооптики, інтегральної оптики, мікроелектрооптики, наноелектроніки тощо.</p> ER -