ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ДОСЛІДЖЕННЯ ТЕМПЕРАТУРНОГО ПОЛЯ У МЕМБРАНІ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНОГО СЕНСОРА ТИСКУ

Myroslav Tykhan

Анотація


Стаття присвячена експериментальному дослідженню температурного поля у мембрані тензорезистивного сенсора тиску при термоударі. Необхідність таких досліджень виявилась у зв’язку з розробленням спеціальних способів вимірювання тиску в середовищах з нестаціонарними термовпливами.

В роботі подаються головні теоретичні аспекти для проведення досліджень, зокрема подається аналітичне рівняння, що описує нестаціонарне температурне поле у мембрані. Далі описується обладнання та хід експериментальних досліджень характеру цього поля при термоударі та показані результати досліджень екземпляра сенсора, призначеного для вимірювання тиску при нестаціонарному термовпливі


Ключові слова


тензорезистивний; сенсор, тиск; нестаціонарний; термовплив; дослідження

Повний текст:

PDF

Посилання


Tykhan M.O., "Development of theoretical foundations and principles of creation piezoresistive pressure sensors of nonstationary conditions," Abstract of dissertation for the degree of Doctor of Science, Nat. University of "Lviv. Polytechnic", 2013. (in Ukrainian)

A. O. Druzhinin, I. J. Maryamova, O.P. Kutrakov, Sensors of mechanical quantities based on the whisker of silicon, germanium and compounds A3B5. Nat. University of "Lviv. Polytechnic", 2015, 231 p. (in Ukrainian).

Mokrov E.A., Belozubov E.M., Tikhomirov D.V., "Minimizing the error of thin-film piezoresistive pressure sensors under the influence of nonstationary temperature," Sensors and systems, №1, pр.26-29, 2004. (in Russian).

Pedorenko N.P., Vorozhbitov A.I., "On the question of the accuracy of measurement of pressure when exposed to thermal shock," Sensors for measuring, control and management. Compilation Scientific works. Penza: Penz. State. Тehn. University Press, vol. 13, pp. 92 – 94, 1994. (in Russian).

М. Tykhan, "The method of measuring pressure environment with nonstationary temperature," Patent of Ukraine. No.85108, Bul. No.24, 2014. (in Ukrainian)

М. Tykhan, "The method of measuring pressure environment with rapidly changing temperature," Patent of Ukraine. No.107072, Bul. No.22, 2014. (in Ukrainian)

М. Tykhan, "Analysis of thermomechanical processes in the membranes of pressure under thermal shock," Mashynoznavstvo. Lviv, №8-9, pp. 7-15, 2008. (in Ukrainian).

B.Boley, J. Weiner. ().The theory of thermal stresses. NY.: 1960. - 586 p.




DOI: https://doi.org/10.20535/1970.52(2).2016.92737

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2017 Рівні права