УРАХУВАННЯ АНІЗОТРОПІЇ МАТЕРІАЛУ ПРУЖНОГО ПІДВІСУ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ

Автор(и)

  • Evgen Zolotarev НТУУ "КПІ", Україна
  • Pavlo Bondar НТУУ "КПІ", Україна

DOI:

https://doi.org/10.20535/1970.50(2).2015.57669

Ключові слова:

чутливий елемент, модуль Юнга, відносне подовження поверхні, анізотропія, кварц, матриці жорсткості

Анотація

Наведені результати моделювання напружено деформованого стану підвісу при дії прискорення на чутливий елемент мікроакселерометра на поверхневих акустичних хвилях із кварцовою трапецієподібною консоллю. Досліджені основні форми власних коливань чутливого елемента з урахуванням анізотропії матеріалу для ST і YX зрізів кварцу. Представлена математична модель для обчислення пружних характеристик кристала кварцу в довільному напрямку. Показана істотна залежність відносного подовження зовнішніх поверхонь консолі від типу зрізу кварцу. Моделювання проведене в програмному пакеті Comsol Multiphysics 4.3b. Отримані результати можуть застосовуватися для оцінки чутливості й визначення смуги пропущення мікроакселерометра

Посилання

Lukyanov D.P., Shevelko M.M., Shevchenko S.Yu. i dr. Razrabotka i optimizatsiya shemyi postroeniya mikroakselerometra na poverhnostnyih akusticheskih volnah (Chast 1) [Development and optimization of construction scheme microaccelerometer surface acoustic wave (part 1)]. Gyroscopy and Navigation, 2005, no 2(49). (In Russian)

Lukyanov D.P,. Shevchenko S.Yu., Kukaev A.S., Cafronov D.V., Filippova E.P. Modelirovanie chuvstvitelnyih elementov MMA i MMG na PAV v programme ANSYS. [Simulation of the sensitive elements of MMA and MMG SAW in the ANSYS program] 65-ya nauchno-tehnicheskaya konferentsiya professorsko-prepodavatelskogo sostava universiteta. Sb. dokl. studentov, aspirantov i molodyih uchenyih SPbGETU "LETI". Izd-vo SPbGETU "LETI", 2012. pp. 192195. (In Russian)

Heyliger P., Ledbetter H., Kim S. Elastic constants of natural quartz. Acoustical Society of America Journal, 2003, no 114, pp. 644–650.

Zelenka I. Pezoelektricheskie rezonatoryi na ob'emnyih i poverhnostnyih akusticheskih volnah: Materialyi, tehnologiya, konstruktsiya, primeneniya [The piezoelectric resonators on bulk and surface acoustic waves: materials, technology, design, application]: Per. s cheshsk. Mir, 1990. 584 p. (In Russian)

Smagin A. G., Yaroslavskiy M. I.. Pjezoelektrichestvo kvartsa i kvartsevyie rezonatoryi [Piezoelectricity of quartz and quartz resonators] Moskva: Energiya, 1970. 488 p. (In Russian)

Balyisheva O. L. Materialyi dlya akustoelektronnyih ustroystv: ucheb. posobie [Materials for acoustoelectronic devices: Tutorial]. GUAP. – SPb., 2005. 50 p. (In Russian)

##submission.downloads##

Опубліковано

2015-12-25

Як цитувати

[1]
E. Zolotarev і P. Bondar, «УРАХУВАННЯ АНІЗОТРОПІЇ МАТЕРІАЛУ ПРУЖНОГО ПІДВІСУ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ», Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak., вип. 50(2), с. 35–40, Груд 2015.

Номер

№ 50(2) (2015)

Розділ

ТЕОРІЯ ТА ПРАКТИКА НАВІГАЦІЙНИХ ПРИЛАДІВ І СИСТЕМ

Ліцензія

Авторське право на публікацію залишається за авторами.

Автори можуть використовувати власні матеріали в інших публікаціях за умови посилання на збірник наукових праць "Вісник Київського політехнічного інституту. Серія ПРИЛАДОБУДУВАННЯ" як на перше місце видання та на Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»  як на видавця.

Автори публікують свої статті в збірнику на умовах ліцензії Creative Commons:

  1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії CC BY 4.0, яка дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
  2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
  3. Політика журналу дозволяє розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на динаміці цитування опублікованої роботи.

 Видавець (КПІ ім. Ігоря Сікорського) має право за будь-якого використання цього видання зазначати своє ім'я або вимагати такого зазначення.

Редакційна колегія залишає за собою право розміщувати опубліковані в збірнику статті в різних інформаційних базах для надання відкритого доступу до матеріалів з метою популяризації наукових досліджень та підвищення цитованості авторів.