DOI: https://doi.org/10.20535/1970.50(2).2015.57669

УРАХУВАННЯ АНІЗОТРОПІЇ МАТЕРІАЛУ ПРУЖНОГО ПІДВІСУ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ

Evgen Zolotarev, Pavlo Bondar

Анотація


Наведені результати моделювання напружено деформованого стану підвісу при дії прискорення на чутливий елемент мікроакселерометра на поверхневих акустичних хвилях із кварцовою трапецієподібною консоллю. Досліджені основні форми власних коливань чутливого елемента з урахуванням анізотропії матеріалу для ST і YX зрізів кварцу. Представлена математична модель для обчислення пружних характеристик кристала кварцу в довільному напрямку. Показана істотна залежність відносного подовження зовнішніх поверхонь консолі від типу зрізу кварцу. Моделювання проведене в програмному пакеті Comsol Multiphysics 4.3b. Отримані результати можуть застосовуватися для оцінки чутливості й визначення смуги пропущення мікроакселерометра

Ключові слова


чутливий елемент; модуль Юнга; відносне подовження поверхні; анізотропія; кварц; матриці жорсткості

Повний текст:

PDF

Посилання


Lukyanov D.P., Shevelko M.M., Shevchenko S.Yu. i dr. Razrabotka i optimizatsiya shemyi postroeniya mikroakselerometra na poverhnostnyih akusticheskih volnah (Chast 1) [Development and optimization of construction scheme microaccelerometer surface acoustic wave (part 1)]. Gyroscopy and Navigation, 2005, no 2(49). (In Russian)

Lukyanov D.P,. Shevchenko S.Yu., Kukaev A.S., Cafronov D.V., Filippova E.P. Modelirovanie chuvstvitelnyih elementov MMA i MMG na PAV v programme ANSYS. [Simulation of the sensitive elements of MMA and MMG SAW in the ANSYS program] 65-ya nauchno-tehnicheskaya konferentsiya professorsko-prepodavatelskogo sostava universiteta. Sb. dokl. studentov, aspirantov i molodyih uchenyih SPbGETU "LETI". Izd-vo SPbGETU "LETI", 2012. pp. 192195. (In Russian)

Heyliger P., Ledbetter H., Kim S. Elastic constants of natural quartz. Acoustical Society of America Journal, 2003, no 114, pp. 644–650.

Zelenka I. Pezoelektricheskie rezonatoryi na ob'emnyih i poverhnostnyih akusticheskih volnah: Materialyi, tehnologiya, konstruktsiya, primeneniya [The piezoelectric resonators on bulk and surface acoustic waves: materials, technology, design, application]: Per. s cheshsk. Mir, 1990. 584 p. (In Russian)

Smagin A. G., Yaroslavskiy M. I.. Pjezoelektrichestvo kvartsa i kvartsevyie rezonatoryi [Piezoelectricity of quartz and quartz resonators] Moskva: Energiya, 1970. 488 p. (In Russian)

Balyisheva O. L. Materialyi dlya akustoelektronnyih ustroystv: ucheb. posobie [Materials for acoustoelectronic devices: Tutorial]. GUAP. – SPb., 2005. 50 p. (In Russian)




Copyright (c) 2019 Рівні права