УРАХУВАННЯ АНІЗОТРОПІЇ МАТЕРІАЛУ ПРУЖНОГО ПІДВІСУ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ

Автор(и)

  • Evgen Zolotarev НТУУ "КПІ", Україна
  • Pavlo Bondar НТУУ "КПІ", Україна

DOI:

https://doi.org/10.20535/1970.50(2).2015.57669

Ключові слова:

чутливий елемент, модуль Юнга, відносне подовження поверхні, анізотропія, кварц, матриці жорсткості

Анотація

Наведені результати моделювання напружено деформованого стану підвісу при дії прискорення на чутливий елемент мікроакселерометра на поверхневих акустичних хвилях із кварцовою трапецієподібною консоллю. Досліджені основні форми власних коливань чутливого елемента з урахуванням анізотропії матеріалу для ST і YX зрізів кварцу. Представлена математична модель для обчислення пружних характеристик кристала кварцу в довільному напрямку. Показана істотна залежність відносного подовження зовнішніх поверхонь консолі від типу зрізу кварцу. Моделювання проведене в програмному пакеті Comsol Multiphysics 4.3b. Отримані результати можуть застосовуватися для оцінки чутливості й визначення смуги пропущення мікроакселерометра

Посилання

Lukyanov D.P., Shevelko M.M., Shevchenko S.Yu. i dr. Razrabotka i optimizatsiya shemyi postroeniya mikroakselerometra na poverhnostnyih akusticheskih volnah (Chast 1) [Development and optimization of construction scheme microaccelerometer surface acoustic wave (part 1)]. Gyroscopy and Navigation, 2005, no 2(49). (In Russian)

Lukyanov D.P,. Shevchenko S.Yu., Kukaev A.S., Cafronov D.V., Filippova E.P. Modelirovanie chuvstvitelnyih elementov MMA i MMG na PAV v programme ANSYS. [Simulation of the sensitive elements of MMA and MMG SAW in the ANSYS program] 65-ya nauchno-tehnicheskaya konferentsiya professorsko-prepodavatelskogo sostava universiteta. Sb. dokl. studentov, aspirantov i molodyih uchenyih SPbGETU "LETI". Izd-vo SPbGETU "LETI", 2012. pp. 192195. (In Russian)

Heyliger P., Ledbetter H., Kim S. Elastic constants of natural quartz. Acoustical Society of America Journal, 2003, no 114, pp. 644–650.

Zelenka I. Pezoelektricheskie rezonatoryi na ob'emnyih i poverhnostnyih akusticheskih volnah: Materialyi, tehnologiya, konstruktsiya, primeneniya [The piezoelectric resonators on bulk and surface acoustic waves: materials, technology, design, application]: Per. s cheshsk. Mir, 1990. 584 p. (In Russian)

Smagin A. G., Yaroslavskiy M. I.. Pjezoelektrichestvo kvartsa i kvartsevyie rezonatoryi [Piezoelectricity of quartz and quartz resonators] Moskva: Energiya, 1970. 488 p. (In Russian)

Balyisheva O. L. Materialyi dlya akustoelektronnyih ustroystv: ucheb. posobie [Materials for acoustoelectronic devices: Tutorial]. GUAP. – SPb., 2005. 50 p. (In Russian)

##submission.downloads##

Опубліковано

2015-12-25

Як цитувати

[1]
E. Zolotarev і P. Bondar, «УРАХУВАННЯ АНІЗОТРОПІЇ МАТЕРІАЛУ ПРУЖНОГО ПІДВІСУ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ», Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak., вип. 50(2), с. 35–40, Груд 2015.

Номер

Розділ

ТЕОРІЯ ТА ПРАКТИКА НАВІГАЦІЙНИХ ПРИЛАДІВ І СИСТЕМ