ДОСЛІДЖЕННЯ ТЕХНОЛОГІЧНИХ ВИМОГ ДО ФОТОПРИЙМАЛЬНОГО ПРИСТРОЮ ІНФРАЧЕРВОНОГО ДІАПАЗОНУ НА ОСНОВІ СТРУКТУР З КВАНТОВИМИ ЯМАМИ
DOI:
https://doi.org/10.20535/1970.48(2).2014.36052Ключові слова:
фотоприймачі довгохвильового діапазону, структурі с квантовими ямами, МОС - гідридна епітаксіяАнотація
Вже багато років за кордоном приділяють особливу увагу розробці нових та перспективних фотоприймачів. Зокрема, фотоприймачі для довгохвильового діапазону знаходяться в активній стадії розробки вже понад 20 років. Варто відзначити, що отримані результати стали можливими завдяки молекулярно – променевій епітаксії (МПЕ), що дозволяє створювати структури з квантовими ямами (СКЯ) з високою однорідністю параметрів на великій площі. Мабуть, основним недоліком МПЕ на сьогодні є її низька продуктивність та, як наслідок, відносно висока вартість одержуваних з її допомогою СКЯ. Це і стало головним акцентом обраного напрямку досліджень, а саме – вибору методу МОС-гідридної епітаксії (МОСГЕ) для вирощування СКЯ. З допомогою МОСГЕ можна вирощувати епітаксіальні плівки в декілька моноатомних шарів з високою точністю, забезпечуючи значно більш високу продуктивність чим з допомогою МПЕ. На основі проведених досліджень можна зробити важливий висновок, що існує цілком реальна можливість для вирощування методом МОСГЕ СКЯ з двома активними областями, кожна з яких має чутливість в заданій області спектра, наприклад 3-5 та 8-12 мкм. На основі таких СКЯ можуть бути виготовлені монолітні двоспектральні фотоприймачі.
Посилання
Zavadskij Ju.I., Kuznecov Ju.A., Chernokozhij V.V., Belokonev V.M., Degtjarev E.V. Faktory, ogranichivajushhie porogovye harakteristiki matrichnyh fotopriemnikov dlinnovolnovogo infrakrasnogo diapazona. Tez. dokl. Soveshh. «Aktual'nye problemy poluprovodnikovoj fotojelektroniki. Fotonika-2003». Novosibirsk. 2003, p. 40. (In Russian)
S.D.Gunapala, V.Bandara, J.K.Liu, et.al., IEEE Trans. El. Dev. v.45, N9, pp. 1890-1895.
M.Z.Tidrow, J.C.Ciang, S.S.Li, K.Bacher, Proc SPIE, V3061, pp. 772-780, 1997.
M.Sundaram, S.C.Wang, Proc.SPIE, V.4028, pp. 311-316, 2000.
1.D.Zalevsky, V.B.Kulikov, G.H.Avetisyan et.al., Proc SPIE, V.2397, pp. 733-744, 1995.
V.B.Kulikov, I.V.Budkin, Tez. Dokl. XVII Mezhdunarodnoj nauchno-tehnicheskoj konferencii po fotojelektronike i priboram nochnogo videnija, maj, 2002, Moscow. (In Russian)
Y.Zhang, N.Baruh,W.I.Wang, Electr.Lett., v.29, N2, pp213-214. (1993)
W.E.Hagston, T.Stimer, F.Rasul, J.Appl.Phys., v.89, N2, pp 1087-1100, (2001).
D.G.Deppe,N.Holonyak, J.Appl.Phys., v.64, N12,R93-R113 (1988).
A.Ja.Shik., FTP , V.20, is.9, pp. 1598-1603 (1986). (In Russian)
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право на публікацію залишається за авторами.
Автори можуть використовувати власні матеріали в інших публікаціях за умови посилання на збірник наукових праць "Вісник Київського політехнічного інституту. Серія ПРИЛАДОБУДУВАННЯ" як на перше місце видання та на Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» як на видавця.
Автори публікують свої статті в збірнику на умовах ліцензії Creative Commons:
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії CC BY 4.0, яка дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на динаміці цитування опублікованої роботи.
Видавець (КПІ ім. Ігоря Сікорського) має право за будь-якого використання цього видання зазначати своє ім'я або вимагати такого зазначення.
Редакційна колегія залишає за собою право розміщувати опубліковані в збірнику статті в різних інформаційних базах для надання відкритого доступу до матеріалів з метою популяризації наукових досліджень та підвищення цитованості авторів.
