ПЕРСПЕКТИВИ ВИКОРИСТАННЯ ПОВЕРХНЕВОЇ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ ОБРОБКИ ОПТИЧНОГО І ТЕХНІЧНОГО СКЛА

Heorgiy Kanashevych, Mykola Holub, Viktor Antonyuk, Vladimir Slyeptsov

Анотація


На основі отриманих експериментальних даних та існуючих досягнень окреслені перспективи використання технології поверхневої обробки оптичного і технічного скла стрічковим електронним потоком.

Поверхнева електронно-променева обробка забезпечує спрямовану зміну фізичних і хімічних властивостей поверхневих шарів скла силікатної групи (К8, БК10, ТК21,фотопластин), що може вигідно використовуватися в приладобудуванні при створенніелементної бази для мікрооптоелектромеханічних приладів і систем (MOEMS).

Ключові слова


приладобудування; електронний потік; електронно-променева обробка; електронно-променева мікрообробка; поверхневий шар скла; оптичне скло; технічне скло; мікрооптика; інтегральна оптика; (MOEMS)

Повний текст:

PDF

Посилання


MOEMS: micro-opto-electro-mechanical system / Manouchehr E. Motamedi, editor. p. 615.

MEMS Micro-Electro-Mechanical System, ST Microelectronics. www.st.com.

MEMS in Optical Networks. www.allaboutmems.com.

Konopal'ceva L. I. Opticheskaja Tehnika, 1994, no 3, pp. 8-9.

Svechnikov G. S. Integral'naja Optika. Kyiv, Naukova Dumka, 1988.

Paton B. E. Avtomaticheskaja Svarka, 2001, no 2, pp. 3-9.

Poltavcev Ju. G. Tehnologija obrabotki poverhnosti v mikrojelektronike. Kyiv, Tjehnika, 1990.

Kotel'nikov D. I., Kanashevich G. V., Dubrovskaja G. N., Zhuchenko M. I., and Konopal'ceva L. I. Sposob izgotovlenija kanal'nyh opticheskih volnovodov. Patent A.s. №1798995 SSSR, MKI S03V 37/00. 1991.

Lisochenko V. N. Tehnologija jelektronno-luchevoj polirovki plat mikroshem i vhodnyh okon vidikonov. Diss. 1997.

Dudko G. V., and Lisochenko V. N. Proc. of Materialy kratkosrochnogo seminara, Leningrad. 1985, pp. 13-16.

Kravchenko A. A. Jelektronno-luchevaja obrabotka plat fotojemitirujushhih struktur. Diss. 1989. Abstract.

Lohov Ju. P., Uglov A. A., and Cherednichenko D. I. Fizika i himija obrabotki materialov. 1997, pp. 56-62.

Kravchenko A. A., Lohov Ju. N., and Cherednichenko D. I. Fizika i himija stekla (1990): 923-927.

Vashhenko V. A. Nauchnye osnovy upravlenija kachestvom jelektronno-luchevoj obrabotki izdelij iz special'nyh opticheskih materialov. Diss. 1996. Abstract.

Kanashevich G. V. Cooling of plates from optical glass after electronic micro-treatment / Kanashevich G. V. // Jelektronnaja obrabotka materialov (Kishinev), 2005, no 4 (234), pp. 79 – 83.

Kanashevich G. V. Micro-treatment of surfaces of plates made of optical glass with a low- power electronic stream of a band form // The 7th World Congress on Recovery, Recycling and Reintegration & China International 3R Exhibition, Beijing. China, 25-29 Sept. 2005. – P. 7.

Kanashevich G. V. Ezhemesjachnyj mezhdisciplinarnyj teoreticheskij i prikladnoj nauchno-tehnicheskij zhurnal «Nano- i mikrosistemnaja tehnika», 2008, pp. 28-30.

Kanashevych G. V. Visnyk NTUU «KPI». Serija «Pryladobuduvannja», 2013, pp. 123-130.




DOI: https://doi.org/10.20535/1970.47(1).2014.35710

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2017 Рівні права