МОДЕЛЬ ПОХИБКИ ОСЬОВОГО МІКРОМЕХАНІЧНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА В УМОВАХ ВІБРАЦІЇ

Pavlo Myronenko, Volodymyr Demyanenko, Tatiana Demyanenko

Анотація


Для осьового мікромеханічного акселерометра з пружним підвісом і зміщеним центром мас щодо геометричного центру проводиться побудова математичної моделі похибки в умовах просторової вібрації підстави. За основу виникнення похибки узятий ефект Максвелла-Капіци. Для побудови моделі похибки в аналітичному вигляді використовувався метод збурень. В якості малого параметра була введена величина характеризує прирощення моменту інерції обумовлене зміщенням центру мас щодо осі до величини відповідного осьового моменту інерції. Отримано компактна формула визначальна постійну складову похибки осьового мікромеханічного акселерометра (ОМА), при горизонтальному розташуванні осі чутливості в умовах гармонійної вібрації підстави. Дана формула добре узгоджується з результатами експериментів і чисельного моделювання. Проведено аналіз даної похибки на підставу формули і дані рекомендації з її мінімізації.

Ключові слова


осьовий мікромеханічний акселерометр; просторова вібрація; постійна складова похибки ОМА

Повний текст:

PDF

Посилання


Raspopov V. Y, Turchaninov V. V., Ivanov V. Y. The influence of vibration on the three-axis micromachined accelerometer. Sensors and Systems, 2009, No 8, pp. 63 – 65.

Raspopov V. Y. Micromechanical devices: studies. allowance. Moscow, Mechanical Engineering, 2007. 400 p.

Nayfe A. H. Perturbation methods. Moscow, Myr, 1976. 386 p.

Mandelstam L. I. Lectures on the theory of vibrations. Moscow, Nauka, 1972. 471 p.

Instrument-making and automation. Directory in 5 volumes; ed. Gavrilov A. N. – M: Mechanical Engineering, 1964. – Vol. 2. – 596 p.




DOI: https://doi.org/10.20535/1970.47(1).2014.35554

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2017 Рівні права