ІНФОРМАТИВНІСТЬ ЯК МЕТРОЛОГІЧНА ХАРАКТЕРИСТИКА ПРИ ПРОЕКТУВАННІ ЧУТЛИВОГО ЕЛЕМЕНТУ МІКРОАКСЕЛЕРОМЕТРІВ
DOI:
https://doi.org/10.20535/1970.54(2).2017.119567Ключові слова:
МЕМС-акселерометр, чутливий елемент, метод кінцевих елементів, чутливість, власна частота, демпфуючі властивостіАнотація
У статті представлені результати моделювання чутливих елементів осьових мікроакселерометрів. Проведені дослідження і встановлені закономірності впливу на чутливість геометричних параметрів пружного підвісу і маси чутливого елементу.
За допомогою аналітичних співвідношень і кінцево-елементного методу розраховані основні параметри пружного підвісу МЕМС-акселеpометpаПосилання
Mokrov Ye. A., "Integral'nyye datchiki. Sostoyaniye razrabotok i proizvodstva. Napravleniya razvitiya, ob"yemy rynka," Datchiki i sistemy, № 1, pp. 28 – 30, 2000. (in Russian)
Raspopov V. YA. Mikromekhanicheskiye pribory: Ucheb. posobiye. Moscow: Mashinostroyeniye, 2007. 400 p. (in Russian)
S. A. Zotov, V. V. Kalugin, S. P. Timoshenkov, Ye. S. Morozova and V. N. Balychev, "Osobennosti proyektirovaniya i izgotovleniya chuvstvitel'nogo elementa mikromekhanicheskogo akselerometra," Pribory i sistemy, Upravleniye, Kontrol', Diagnostika, № 2, pp. 21 – 25, 2012. (in Russian)
Zotov S.A., "Raschet formy deformiruyemoy balki mikromekhanicheskogo akselerometra," Tula, Izvestiya Tul'skogo gosudarstvennogo universiteta. Ser. Problemy spetsial'nogo mashinostroyeniya, is. 4, pp. 154-157, 2001. (in Russian)
Alyamkovskiy A. A. Solid Works / COSMOS Works. Inzhenernyy analiz metodom konechnykh elementov. Moscow: DMK Press, 2004. 432 p. (in Russian)
Tuzov A., "Datchiki dlya izmereniya parametrov dvizheniya na osnove MEMS-tekhnologii," Elektronika, № 1, pp. 2 – 5, 2011. (in Russian)
Galushkov A. I., "Modelirovaniye, dinamicheskiy i prochnostnoy analiz inertsionnykh chuvstvitel'nykh nanoelementov," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 1, pp. 34 – 38, 2008. (in Russian)
Tikhonov A. I., "Printsip sovmeshcheniya funktsiy v datchikakh mekhanicheskikh velichin," Pribory i sistemy upravleniya, № 1, pp. 18 – 21, 1996. (in Russian)
Britkov O. M., "Razrabotka konstruktsii mikromekhanicheskogo akselerometra," 12 Vserossiyskaya mezhvuzovskaya nauchno-tekhnicheskaya konferentsiya studentov i aspirantov "Mikroelektronika i informatika - 2005". Moscow : MIET, 2005. P. 123. (in Russian)
S. A. Zotov, A. N. Boyko, O. M. Britkov, "Kosvennyy analiz zhestkosti podvesa chuvstvitel'nogo elementa mikromekhanicheskogo ustroystva," XXXI Gagarinskiye chteniya, Moscow, 2005, pp. 42 – 43. (in Russian)
S. B. Tarasov, S. N. Stepanov, A. V. Petrov and S. S. Stepanov, "MEMS-giroskopy i akselerometry," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 10, 2015. (in Russian)
Nikulin A. V., "Analiz vliyaniya uprugikh elementov na sobstvennyye parametry mikromkekhanicheskikh giroskopov LL-tipa," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 4, 2011. (in Russian)
M. M. Gol'tsova, V. A. Yudintsev, "MÊMS: bol'shiye rynki malykh ustroystv," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 4, 2012. (in Russian)
M. YU. Okhtilev, YU. B. Mikhaylov, "Naznacheniye giroskopicheskikh datchikov i sistemy ikh ispol'zovaniya v sovremennykh navigatsionnykh sistemakh," Aviakosmicheskoye priborostroyeniye, № 1, 2015.(in Russian)
V. I. Shashkin, N. V. Vostokov, Е. А. Vopilkin, A. Yu. Klimov, V. M. Daniltsev, V. V. Rogov and S. G. Lazarev, "Fabrication and characterization of stress-free microbeams for MEMS applications," Phys. Stat. Sol. (c) 2. N 4, pp. 1433–1437, 2005.
T. A. Core, W. K. Tsang, S. J. Sherman, "Fabrication Technology for an Integrated Surface-Micromachined Sensor," S. S. technology, Oct. 1993, pp. 39–47.
L. Zimmerman, J. Ph. Ebersohl, R. Hung, "Airbag application: a microsystem including a silicon capacitive accelerometer, CMOS switched capacitor electronics and true self-test capability," Sensors and Actuators, V. A46–47 190–195, 1995.
Guckel H., Siegowski S., Christenson T. et al., "The application of fine-grained, tensile polysilicon to mechanically resonant transducers," Sensors and Actuators, V. 21–23, pp. 351-364, 1900.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право на публікацію залишається за авторами.
Автори можуть використовувати власні матеріали в інших публікаціях за умови посилання на збірник наукових праць "Вісник Київського політехнічного інституту. Серія ПРИЛАДОБУДУВАННЯ" як на перше місце видання та на Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» як на видавця.
Автори публікують свої статті в збірнику на умовах ліцензії Creative Commons:
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії CC BY 4.0, яка дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на динаміці цитування опублікованої роботи.
Видавець (КПІ ім. Ігоря Сікорського) має право за будь-якого використання цього видання зазначати своє ім'я або вимагати такого зазначення.
Редакційна колегія залишає за собою право розміщувати опубліковані в збірнику статті в різних інформаційних базах для надання відкритого доступу до матеріалів з метою популяризації наукових досліджень та підвищення цитованості авторів.
