ІНФОРМАТИВНІСТЬ ЯК МЕТРОЛОГІЧНА ХАРАКТЕРИСТИКА ПРИ ПРОЕКТУВАННІ ЧУТЛИВОГО ЕЛЕМЕНТУ МІКРОАКСЕЛЕРОМЕТРІВ

Vladislav Dubinets

Анотація


У статті представлені результати моделювання чутливих елементів осьових мікроакселерометрів. Проведені дослідження і встановлені закономірності впливу на чутливість геометричних параметрів пружного підвісу і маси чутливого елементу.

За допомогою аналітичних співвідношень і кінцево-елементного методу розраховані основні параметри пружного підвісу МЕМС-акселеpометpа

Ключові слова


МЕМС-акселерометр; чутливий елемент; метод кінцевих елементів; чутливість; власна частота; демпфуючі властивості

Повний текст:

PDF

Посилання


Mokrov Ye. A., "Integral'nyye datchiki. Sostoyaniye razrabotok i proizvodstva. Napravleniya razvitiya, ob"yemy rynka," Datchiki i sistemy, № 1, pp. 28 – 30, 2000. (in Russian)

Raspopov V. YA. Mikromekhanicheskiye pribory: Ucheb. posobiye. Moscow: Mashinostroyeniye, 2007. 400 p. (in Russian)

S. A. Zotov, V. V. Kalugin, S. P. Timoshenkov, Ye. S. Morozova and V. N. Balychev, "Osobennosti proyektirovaniya i izgotovleniya chuvstvitel'nogo elementa mikromekhanicheskogo akselerometra," Pribory i sistemy, Upravleniye, Kontrol', Diagnostika, № 2, pp. 21 – 25, 2012. (in Russian)

Zotov S.A., "Raschet formy deformiruyemoy balki mikromekhanicheskogo akselerometra," Tula, Izvestiya Tul'skogo gosudarstvennogo universiteta. Ser. Problemy spetsial'nogo mashinostroyeniya, is. 4, pp. 154-157, 2001. (in Russian)

Alyamkovskiy A. A. Solid Works / COSMOS Works. Inzhenernyy analiz metodom konechnykh elementov. Moscow: DMK Press, 2004. 432 p. (in Russian)

Tuzov A., "Datchiki dlya izmereniya parametrov dvizheniya na osnove MEMS-tekhnologii," Elektronika, № 1, pp. 2 – 5, 2011. (in Russian)

Galushkov A. I., "Modelirovaniye, dinamicheskiy i prochnostnoy analiz inertsionnykh chuvstvitel'nykh nanoelementov," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 1, pp. 34 – 38, 2008. (in Russian)

Tikhonov A. I., "Printsip sovmeshcheniya funktsiy v datchikakh mekhanicheskikh velichin," Pribory i sistemy upravleniya, № 1, pp. 18 – 21, 1996. (in Russian)

Britkov O. M., "Razrabotka konstruktsii mikromekhanicheskogo akselerometra," 12 Vserossiyskaya mezhvuzovskaya nauchno-tekhnicheskaya konferentsiya studentov i aspirantov "Mikroelektronika i informatika - 2005". Moscow : MIET, 2005. P. 123. (in Russian)

S. A. Zotov, A. N. Boyko, O. M. Britkov, "Kosvennyy analiz zhestkosti podvesa chuvstvitel'nogo elementa mikromekhanicheskogo ustroystva," XXXI Gagarinskiye chteniya, Moscow, 2005, pp. 42 – 43. (in Russian)

S. B. Tarasov, S. N. Stepanov, A. V. Petrov and S. S. Stepanov, "MEMS-giroskopy i akselerometry," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 10, 2015. (in Russian)

Nikulin A. V., "Analiz vliyaniya uprugikh elementov na sobstvennyye parametry mikromkekhanicheskikh giroskopov LL-tipa," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 4, 2011. (in Russian)

M. M. Gol'tsova, V. A. Yudintsev, "MÊMS: bol'shiye rynki malykh ustroystv," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 4, 2012. (in Russian)

M. YU. Okhtilev, YU. B. Mikhaylov, "Naznacheniye giroskopicheskikh datchikov i sistemy ikh ispol'zovaniya v sovremennykh navigatsionnykh sistemakh," Aviakosmicheskoye priborostroyeniye, № 1, 2015.(in Russian)

V. I. Shashkin, N. V. Vostokov, Е. А. Vopilkin, A. Yu. Klimov, V. M. Daniltsev, V. V. Rogov and S. G. Lazarev, "Fabrication and characterization of stress-free microbeams for MEMS applications," Phys. Stat. Sol. (c) 2. N 4, pp. 1433–1437, 2005.

T. A. Core, W. K. Tsang, S. J. Sherman, "Fabrication Technology for an Integrated Surface-Micromachined Sensor," S. S. technology, Oct. 1993, pp. 39–47.

L. Zimmerman, J. Ph. Ebersohl, R. Hung, "Airbag application: a microsystem including a silicon capacitive accelerometer, CMOS switched capacitor electronics and true self-test capability," Sensors and Actuators, V. A46–47 190–195, 1995.

Guckel H., Siegowski S., Christenson T. et al., "The application of fine-grained, tensile polysilicon to mechanically resonant transducers," Sensors and Actuators, V. 21–23, pp. 351-364, 1900.

http://www.ansys.com

http://www.freescale.com




DOI: https://doi.org/10.20535/1970.54(2).2017.119567

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2018 Рівні права