ДОСЛІДЖЕННЯ РЕЗОНАНСНИХ ЧАСТОТ ТА ВЛАСНИХ ФОРМ КОЛИВАНЬ ЧУТЛИВИХ ЕЛЕМЕНТІВ АКСЕЛЕРОМЕТРІВ

Автор(и)

  • Vladislav Dubinets Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна

DOI:

https://doi.org/10.20535/1970.54(2).2017.119539

Ключові слова:

мікромеханічні акселерометри, чутливий елемент, метод кінцевих елементів, чутливість, власна частота

Анотація

У статті представлені результати моделювання чутливих елементів маятникових мікромеханічних акселерометрів (ММА). Проведені дослідження і встановлені закономірності впливу геометричних параметрів пружного підвісу і маси чутливого елемента на частоту власних коливань з поправкою на демпфування. При моделюванні підвісів різної форми методом кінцевих елементів визначали напружено-деформований стан чутливих елементів і проводили аналіз пружних характеристик з метою вибору оптимальної конструкції.

Біографія автора

Vladislav Dubinets, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»

к.т.н., доцент

Посилання

Raspopov V. YA. Mikromekhanicheskiye pribory: Ucheb. posobiye. Moscow: Mashinostroyeniye, 2007. 400 p. (in Russian)

S. A. Zotov, V. V. Kalugin, S. P. Timoshenkov, Ye. S. Morozova and V. N. Balychev, "Osobennosti proyektirovaniya i izgotovleniya chuvstvitel'nogo elementa mikromekhanicheskogo akselerometra," Pribory i sistemy, Upravleniye, Kontrol', Diagnostika, № 2, pp. 21 – 25, 2012. (in Russian)

Zotov S.A., "Raschet formy deformiruyemoy balki mikromekhanicheskogo akselerometra," Tula, Izvestiya Tul'skogo gosudarstvennogo universiteta. Ser. Problemy spetsial'nogo mashinostroyeniya, is. 4, pp. 154-157, 2001. (in Russian)

Alyamkovskiy A. A. Solid Works / COSMOS Works. Inzhenernyy analiz metodom konechnykh elementov. Moscow: DMK Press, 2004. 432 p. (in Russian)

Tuzov A., "Datchiki dlya izmereniya parametrov dvizheniya na osnove MEMS-tekhnologii," Elektronika, № 1, pp. 2 – 5, 2011. (in Russian)

Galushkov A. I., "Modelirovaniye, dinamicheskiy i prochnostnoy analiz inertsionnykh chuvstvitel'nykh nanoelementov," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 1, pp. 34 – 38, 2008. (in Russian)

Britkov O. M., "Razrabotka konstruktsii mikromekhanicheskogo akselerometra," 12 Vserossiyskaya mezhvuzovskaya nauchno-tekhnicheskaya konferentsiya studentov i aspirantov "Mikroelektronika i informatika - 2005". Moscow : MIET, 2005. P. 123. (in Russian)

S. B. Tarasov, S. N. Stepanov, A. V. Petrov and S. S. Stepanov, "MEMS-giroskopy i akselerometry," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 10, 2015. (in Russian)

V. I. Shashkin, N. V. Vostokov, Е. А. Vopilkin, A. Yu. Klimov, V. M. Daniltsev, V. V. Rogov and S. G. Lazarev,"Fabrication and characterization of stress-free microbeams for MEMS applications," Phys. Stat. Sol. (c) 2, N4, pp. 1433–1437, 2005.

L. Zimmerman, J. Ph. Ebersohl, R. Hung, "Airbag application: a microsystem including a silicon capacitive accelerometer, CMOS switched capacitor electronics and true self-test capability," Sensors and Actuators, V. A46–47 190–195, 1995.

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-12-25

Як цитувати

[1]
V. Dubinets, «ДОСЛІДЖЕННЯ РЕЗОНАНСНИХ ЧАСТОТ ТА ВЛАСНИХ ФОРМ КОЛИВАНЬ ЧУТЛИВИХ ЕЛЕМЕНТІВ АКСЕЛЕРОМЕТРІВ», Bull. Kyiv Polytech. Inst. Ser. Instrum. Mak., вип. 54(2), с. 61–65, Груд 2017.

Номер

№ 54(2) (2017)

Розділ

НАУКОВІ ТА ПРАКТИЧНІ ПРОБЛЕМИ ВИРОБНИЦТВА ПРИЛАДІВ ТА СИСТЕМ

Ліцензія

Авторське право на публікацію залишається за авторами.

Автори можуть використовувати власні матеріали в інших публікаціях за умови посилання на збірник наукових праць "Вісник Київського політехнічного інституту. Серія ПРИЛАДОБУДУВАННЯ" як на перше місце видання та на Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»  як на видавця.

Автори публікують свої статті в збірнику на умовах ліцензії Creative Commons:

  1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії CC BY 4.0, яка дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
  2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
  3. Політика журналу дозволяє розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на динаміці цитування опублікованої роботи.

 Видавець (КПІ ім. Ігоря Сікорського) має право за будь-якого використання цього видання зазначати своє ім'я або вимагати такого зазначення.

Редакційна колегія залишає за собою право розміщувати опубліковані в збірнику статті в різних інформаційних базах для надання відкритого доступу до матеріалів з метою популяризації наукових досліджень та підвищення цитованості авторів.