DOI: https://doi.org/10.20535/1970.54(2).2017.119539

ДОСЛІДЖЕННЯ РЕЗОНАНСНИХ ЧАСТОТ ТА ВЛАСНИХ ФОРМ КОЛИВАНЬ ЧУТЛИВИХ ЕЛЕМЕНТІВ АКСЕЛЕРОМЕТРІВ

Vladislav Dubinets

Анотація


У статті представлені результати моделювання чутливих елементів маятникових мікромеханічних акселерометрів (ММА). Проведені дослідження і встановлені закономірності впливу геометричних параметрів пружного підвісу і маси чутливого елемента на частоту власних коливань з поправкою на демпфування. При моделюванні підвісів різної форми методом кінцевих елементів визначали напружено-деформований стан чутливих елементів і проводили аналіз пружних характеристик з метою вибору оптимальної конструкції.


Ключові слова


мікромеханічні акселерометри; чутливий елемент; метод кінцевих елементів; чутливість; власна частота

Повний текст:

PDF

Посилання


Raspopov V. YA. Mikromekhanicheskiye pribory: Ucheb. posobiye. Moscow: Mashinostroyeniye, 2007. 400 p. (in Russian)

S. A. Zotov, V. V. Kalugin, S. P. Timoshenkov, Ye. S. Morozova and V. N. Balychev, "Osobennosti proyektirovaniya i izgotovleniya chuvstvitel'nogo elementa mikromekhanicheskogo akselerometra," Pribory i sistemy, Upravleniye, Kontrol', Diagnostika, № 2, pp. 21 – 25, 2012. (in Russian)

Zotov S.A., "Raschet formy deformiruyemoy balki mikromekhanicheskogo akselerometra," Tula, Izvestiya Tul'skogo gosudarstvennogo universiteta. Ser. Problemy spetsial'nogo mashinostroyeniya, is. 4, pp. 154-157, 2001. (in Russian)

Alyamkovskiy A. A. Solid Works / COSMOS Works. Inzhenernyy analiz metodom konechnykh elementov. Moscow: DMK Press, 2004. 432 p. (in Russian)

Tuzov A., "Datchiki dlya izmereniya parametrov dvizheniya na osnove MEMS-tekhnologii," Elektronika, № 1, pp. 2 – 5, 2011. (in Russian)

Galushkov A. I., "Modelirovaniye, dinamicheskiy i prochnostnoy analiz inertsionnykh chuvstvitel'nykh nanoelementov," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 1, pp. 34 – 38, 2008. (in Russian)

Britkov O. M., "Razrabotka konstruktsii mikromekhanicheskogo akselerometra," 12 Vserossiyskaya mezhvuzovskaya nauchno-tekhnicheskaya konferentsiya studentov i aspirantov "Mikroelektronika i informatika - 2005". Moscow : MIET, 2005. P. 123. (in Russian)

S. B. Tarasov, S. N. Stepanov, A. V. Petrov and S. S. Stepanov, "MEMS-giroskopy i akselerometry," Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, № 10, 2015. (in Russian)

V. I. Shashkin, N. V. Vostokov, Е. А. Vopilkin, A. Yu. Klimov, V. M. Daniltsev, V. V. Rogov and S. G. Lazarev,"Fabrication and characterization of stress-free microbeams for MEMS applications," Phys. Stat. Sol. (c) 2, N4, pp. 1433–1437, 2005.

L. Zimmerman, J. Ph. Ebersohl, R. Hung, "Airbag application: a microsystem including a silicon capacitive accelerometer, CMOS switched capacitor electronics and true self-test capability," Sensors and Actuators, V. A46–47 190–195, 1995.




Copyright (c) 2018 Рівні права